La tecnología TFT se desarrolló en la década de 1990. Adopta nuevos materiales y nuevos procesos para la tecnología de fabricación de circuitos totalmente integrados de semiconductores a gran escala. Se utiliza para pantallas planas de electroluminiscencia de película delgada (EL y OEL) inorgánicas y orgánicas de cristal líquido (LC). Base. TFT es una oblea no única, como un sustrato de vidrio o plástico (por supuesto, también puede estar en una oblea) a través de procesos de deposición química y pulverización catódica para formar varias películas necesarias para la fabricación de circuitos y circuitos integrados de semiconductores a gran escala (LSIC ) se fabrican procesando las películas. . El uso de sustratos que no son de un solo cristal puede reducir en gran medida los costos y es una extensión de los circuitos integrados tradicionales a gran escala a direcciones de área grande, multifunción y de bajo costo. Es más difícil desde el punto de vista técnico fabricar TFT que controlen el rendimiento de conmutación de los píxeles (LC u OLED) en sustratos de vidrio o plástico de gran superficie que fabricar circuitos integrados a gran escala en obleas de silicio. Los requisitos para el entorno de producción (el grado de purificación es 100), los requisitos para la pureza de las materias primas (la pureza del gas especial electrónico es 99,999985%) y los requisitos para el equipo de producción y la tecnología de producción superan la integración a gran escala de semiconductores. . Es la parte superior de la producción moderna a gran escala. Tecnología. Sus principales características son:
(1) Área grande: la primera generación de sustrato de vidrio de área grande (300 mm × 400 mm) LCD TFT La línea de producción se puso en producción a principios de la década de 1990. Para la primera mitad de 2000, el área de el sustrato de vidrio se había expandido a 680 mm x 880 mm), y el tamaño del sustrato de vidrio era de 950 mm x 1200 mm. También se pondrá en funcionamiento el sustrato de vidrio. En principio, no hay limitación de área.
(2) Alta integración: el chip TFT de 1,3 pulgadas utilizado para la proyección de cristal líquido tiene una resolución de XGA que contiene millones de píxeles. La matriz TFT de 16,1 pulgadas con una resolución de SXGA (1280 × 1024), el espesor de la película de silicio amorfo es de solo 50 nm, y las tecnologías TABONGLASS y SYSTEMONGLASS, el nivel de integración de su IC, los requisitos para el equipo y la tecnología de suministro, y la dificultad técnica supera a las tradicionales. LSI.
(3) Funciones potentes: TFT se utilizó por primera vez como un circuito de direccionamiento de matriz para mejorar las características de la válvula de luz de los cristales líquidos. Para pantallas de alta resolución, a través del ajuste de voltaje en el rango de 0-6 V (típicamente 0,2 a 4 V), se logra un control preciso del objeto, lo que hace posible que la pantalla LCD logre pantallas de alta calidad y alta resolución. TFT-LCD es la primera pantalla plana en la historia humana que supera a la CRT en calidad de visualización. Y las personas comienzan a integrar el controlador IC en el sustrato de vidrio, y la función de todo el TFT será más poderosa, lo que no tiene comparación con los circuitos integrados de semiconductores tradicionales a gran escala.
(4) Bajo costo: los sustratos de vidrio y los sustratos de plástico resuelven fundamentalmente el problema del costo de los circuitos integrados de semiconductores a gran escala y abren un amplio espacio de aplicación para la aplicación de circuitos integrados de semiconductores a gran escala.
(5) Proceso flexible: además de la pulverización catódica, CVD (deposición química de vapor) MCVD (deposición química de vapor molecular) y otros procesos tradicionales para la formación de películas, también se ha comenzado a aplicar la tecnología de recocido por láser, que puede producir películas amorfas, películas policristalinas , y Se pueden fabricar películas monocristalinas. No solo puede hacer una película de silicio, sino también hacer otras películas delgadas semiconductoras del grupo Ⅱ-VI y del grupo Ⅲ-V.
(6) El campo de aplicación es amplio. El pantalla LCD basado en la tecnología TFT es el pilar de la industria de la sociedad de la información, y la tecnología también se puede aplicar a la pantalla plana de electroluminiscencia orgánica de transistores de película delgada (TFT-OLED) de rápido crecimiento. Creciente.