La tecnología TFT se desarrolló en la década de 1990. Adopta nuevos materiales y nuevos procesos para la tecnología de fabricación de circuitos totalmente integrados de semiconductores a gran escala. Se utiliza para pantallas planas de cristal líquido (LC), electroluminiscencia de película delgada orgánica e inorgánica (EL y OEL). Base. TFT es una oblea que no es una sola, como un sustrato de vidrio o plástico (por supuesto, también puede estar en una oblea) mediante procesos de pulverización y deposición química para formar varias películas necesarias para la fabricación de circuitos y circuitos integrados semiconductores a gran escala (LSIC). ) se fabrican procesando las películas. . El uso de sustratos que no son de un solo cristal puede reducir en gran medida los costos y es una extensión de los circuitos integrados tradicionales a gran escala hacia direcciones de área grande, multifunción y de bajo costo. Es técnicamente más difícil fabricar TFT que controlen el rendimiento de conmutación de píxeles (LC u OLED) en sustratos de vidrio o plástico de gran superficie que fabricar circuitos integrados a gran escala en obleas de silicio. Los requisitos para el entorno de producción (el grado de purificación es 100), los requisitos para la pureza de las materias primas (la pureza del gas especial electrónico es 99,999985%) y los requisitos para los equipos y la tecnología de producción superan la integración a gran escala de semiconductores. . Es la cima de la producción moderna a gran escala. Tecnología. Sus principales características son:
(1) Área grande: la primera generación de sustrato de vidrio de área grande (300 mm × 400 mm) LCD TFT La línea de producción se puso en marcha a principios de los años 1990. En el primer semestre de 2000, la superficie de el sustrato de vidrio se había ampliado a 680 mm x 880 mm) y el tamaño del sustrato de vidrio era 950 mm x 1200 mm. También se pondrá en funcionamiento el sustrato de vidrio. En principio, no existe ninguna limitación de superficie.
(2) Alta integración: el chip TFT de 1,3 pulgadas utilizado para la proyección de cristal líquido tiene una resolución XGA que contiene millones de píxeles. La matriz TFT de 16,1 pulgadas con una resolución de SXGA (1280×1024), el espesor de la película de silicio amorfo es de sólo 50 nm, y las tecnologías TABONGLASS y SYSTEMONGLASS, el nivel de integración de su CI, los requisitos de equipos y tecnología de suministro, y La dificultad técnica supera a las tradicionales. LSI.
(3) Funciones potentes: TFT se utilizó por primera vez como un circuito de direccionamiento matricial para mejorar las características de la válvula de luz de los cristales líquidos. Para pantallas de alta resolución, mediante el ajuste de voltaje en el rango de 0-6 V (normalmente de 0,2 a 4 V), se logra un control preciso del objeto, lo que hace posible que la pantalla LCD obtenga pantallas de alta calidad y resolución. TFT-LCD es la primera pantalla plana en la historia de la humanidad que supera al CRT en calidad de visualización. Y la gente comienza a integrar el controlador IC en el sustrato de vidrio, y la función de todo el TFT será más poderosa, lo que no tiene comparación con los circuitos integrados semiconductores tradicionales a gran escala.
(4) Bajo costo: los sustratos de vidrio y los sustratos de plástico resuelven fundamentalmente el problema de costo de los circuitos integrados de semiconductores a gran escala y abren un amplio espacio de aplicación para la aplicación de circuitos integrados de semiconductores a gran escala.
(5) Proceso flexible: además de la pulverización catódica, CVD (deposición química de vapor), MCVD (deposición química de vapor molecular) y otros procesos tradicionales para la formación de películas, también se ha comenzado a aplicar la tecnología de recocido láser, que puede producir películas amorfas y películas policristalinas. y Se pueden fabricar películas monocristalinas. No solo puede producir películas de silicio, sino también otras películas delgadas semiconductoras del grupo Ⅱ-VI y del grupo Ⅲ-V.
(6) El campo de aplicación es amplio. El Pantalla LCD La tecnología basada en TFT es la industria pilar de la sociedad de la información, y la tecnología también se puede aplicar a la pantalla plana de electroluminiscencia orgánica con transistores de película delgada (TFT-OLED) de rápido crecimiento. Creciente.